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21年6月【西南大学】[机考][0928]《传感器与测试技术》

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发表于 2021-6-3 14:20:13 | 显示全部楼层 |阅读模式
谋学网
1.6 u( C. M) i, o; N; i, }2 I/ Q, w" U
信号传输过程中,产生干扰的原因是(   )
: e! e8 n; I- j& f2 ]7 G  T
: q& ^4 y0 J& v9 f/ Z8 nA.信号是缓变的) T8 W5 I% q# z- o
) @  g0 L. Z# I7 q
2 m# d7 D; Y' Y- p; T# ?
# L' ?- X7 d1 x4 e9 _
B.信号是快变的
  i3 q1 _/ u$ H
# P+ m% ^. f8 R$ H1 _$ _* ?5 I' Y9 c, @  }7 m" {- d
- K& b" m3 U4 L6 _
C.干扰的耦合通道
, ]/ E  P' r# R1 c2 U3 g+ U6 y2 x1 A3 H" Q

6 Y9 C3 T) K4 k1 H+ C # x5 v; }4 ?1 m  Y  F, y5 y
D.信号是交流的
4 }3 x% R! Y, C4 d* f) A  O% m: Z+ w1 R" m

+ @* g1 \" t+ J) ~8 f' J' w6 B
* R, j1 h; \9 C; I8 }________________________________________
& G! M, Y6 f5 E1 M& a* W5 H2.+ x% r& ~9 o& M1 v
超声波在固体中可穿透几十米的长度,在液体、固体时(         ),碰到杂质或分界面就会有显著反射。* q  U5 \; ?+ a  j. y+ T  w

  `8 n! F7 ^! U- c% Z7 ?3 cA.衰减小6 ?# u8 h( {4 p3 }
" W3 ^) g" d: }

' X3 x+ r0 E1 u; G
: r7 }& v; {" j, H+ o4 BB.衰减大
% Y+ i) k5 J& l3 Y0 s% C
$ x2 h4 E0 O% `1 Y8 n8 X& B$ a9 [4 a$ u. W! V; k& H2 D8 q  o
8 b8 o" X( d# C+ H- S! W
C.无衰减$ _  l9 i# d! t1 ~3 p

% M5 b. e1 j4 \0 n- f3 G
  E- W6 j2 e1 n5 D; E" c6 M& C0 h; E/ d% ?9 Z3 y
________________________________________' c1 ?- G+ u% a# h/ k2 w6 w
3.6 x2 ]4 F0 s2 Q& N
以下(         )是影响CMOS 传感器性能的首要问+ y9 h4 k- a: A! g
3 S9 s7 m. d5 L, B0 }
A.暗电流
7 N+ O* Z5 o. _: w6 q3 z- g( F/ }" Z; w9 K3 K! `$ s+ h

7 B( o1 _' J! B( s: i  M
, L6 Z0 e/ Q5 B: ^: t) BB.噪声% z+ f3 K/ b. t* n. o2 F

" o# H  q6 c& v% p% z8 q5 o
4 \( m; V' n# t# M( d) [' J' h 6 c+ z' E4 g9 Y; S; H0 {) r
C.像素的饱和
2 d) M1 M% W: o, V/ j1 a0 C- \, c3 L3 G3 J
& I5 U) L( B5 V% S9 D$ a; r/ K

4 Y1 K7 i; |) j________________________________________
$ l" w/ O0 e6 y* w' Q, S# V! x4.
% j0 ]  ?& }) o% U将电阻应变片贴在(         )上,就可以分别做成测力、位移、加速度等参数的传感器。# N9 ?9 N+ s3 S) e/ n9 n
) N2 i" [0 q/ D  q" e0 ]
A.质量块
' j" B5 V& |% ~; O+ z8 P4 e# s- G- J& Z" L2 t* n
. F, c3 W- c- Q8 K1 v" N- o$ F6 N: `
" w0 D. S9 r' |( |: e. n$ H( K9 O
B.刚性机器组件6 l3 {+ |- [( n: Z6 w* h0 u; h

7 Q0 o# r& t* w3 z4 v- ~
' F2 T7 \- S. U" s, i! {8 y# o: }9 v' y 1 j7 H1 `/ y8 w/ ~. c+ g4 m. `
C.非弹性导体0 V  b; z6 V3 T! {) M
7 B9 E- T' U$ ?2 ~% p. |5 j, G

* B# D) S% S# x0 J2 u1 V
- P) m# U6 @$ C7 d! t4 d$ P% gD.弹性元件
5 h3 I; ~8 E1 L& E) R$ Q" C8 w) ^4 L) h0 A9 i9 p/ N) Y5 Y
5 y& [! c5 q5 s( f! k" b! Q/ l
9 w- ^* W( H7 ]) h8 L# m- S
________________________________________
: X) E- V. c' ]) E9 |4 `9 `5.7 V1 G1 C% Z, N( t. z6 z5 c
光敏元件在无光照时,两端加电压后产生的电流称为(         )。
& }5 e$ x5 p: M# w0 r+ @1 L
5 E* t' n! U- X# G, xA.光电流" ]1 z' T- e6 ~0 F' t

4 @5 b. ~5 U' a) [
/ D- U8 m) M+ H( g7 W % z  d9 S& s! W% j- P  x  }! v3 q
B.截止电流( f- l* X& @0 h7 [/ y0 B! X
8 Y* X# m1 e+ Y+ N; i
/ V) I5 p/ K+ ~2 J

9 h. ~/ u; J' T/ c" \3 wC.暗电流( |* ]% @6 O6 B, F

4 a6 r0 Y* Z! I0 g: H, P* T
6 E! G( N$ x4 @& g+ T
$ i. e! N) t) n1 I! b' VD.启动电流1 S: _  L' g% G% |

! |3 Y3 t1 }$ ^# Y$ Y5 C- }
! Y3 j2 A( Y; A. Y. }8 [# n
$ A: m2 w1 B4 T9 V- D3 x________________________________________
' t  K/ d4 \* |, C+ P8 M, I( ~6.. X, o. E4 q3 H
影响压电式加速度传感器低频响应能力的是(         )。# g2 f( b. t0 |! E, C+ o! S0 U

: L  g, I# {! gA.电缆的安装与固定方式2 Y1 x/ P5 u' v8 X; M

: Z, K( S+ S2 I, r* Z) k8 A
( j+ L' A. I, m7 `
* O4 l7 z* `7 m7 D* i0 `$ TB.电缆的长度
: h; [5 C, \  l: R& p+ `3 j
* c1 G9 K$ e) f/ ~/ L, T6 B- T+ ^" E/ N$ K$ l% y

" a/ k$ j* U" v+ FC.前置放大器的输出阻抗9 o! _2 U3 O  V' U, k. ?: O9 K' Y

4 N7 F) R/ ]  T
! x( I9 l4 j/ w0 Y0 y3 h: A
, i* b& ~% P" N, ^D.前置放大器的输入阻抗2 j+ c. F1 s# I9 {. a$ {8 y4 n
" ?" {- r, ]5 u) B

: n. ^6 U) ^* `: _
, E& |- ]3 Y3 y* R/ p/ @, V" X, O________________________________________
1 y  `5 L2 j/ g3 g7 V! |' R7.
& O. [/ n9 ~2 Z( w% B% H! ^& W! e在相同的电压和相同幅值的光强度下,当入射光以不同的正弦交变频率调制时,光敏元件输出的光电流I和灵敏度S随调制频率f变化的关系: 称为(         )。
1 V0 G6 P* H7 `. {
: r4 K7 R7 ~5 E# E' l& kA.频率特性
  a) {6 z; A3 |& a2 k7 e: I7 v' y& N. x. H" p' o
  ]# y; v' l$ B0 j6 h4 a3 D* N' C* e
6 R  V+ h+ p  Y; ~- ^, @
B.光照特性: m" H/ A- T7 J8 t; Q
$ p0 I& p! p: y. \1 P& g7 a

9 x$ r) t* w, K6 \
& i  d9 G( [( b5 W3 F7 z0 U$ l  PC.光谱特性
6 S3 [7 j4 d  \4 K! V- e% H# E7 O9 Z6 F2 V( t: Z
$ c, J9 ]9 ]- d. H/ V7 ~" R
8 u7 \3 R8 g; f% j" m+ z" L# l
D.伏安特性
' a1 N% G& d& P( M- Z! v9 |/ V6 \0 G- M( B/ E& K4 T; v
9 ^+ w% }5 M  W; P& P4 B
6 T9 C& s8 w6 J( _
________________________________________6 @9 S: c% Q3 J( X7 `
8.3 J! j1 g( g( y! I1 B" _% H
下列被测物理量适合于使用红外传感器进行测量的是(         )。
, L7 q8 C) l/ s
0 R' X. B, @* T$ A+ z% X, h2 L* AA.压力
- M9 z2 _$ D, c3 r; H5 z3 j1 j" C1 t" N# |  N& n! A+ a* \' a

1 _( y: M9 \2 M6 M
# s. N, a+ ?0 `$ W/ B3 [B.力矩
9 T9 E( C: ~  Y& H, d2 ]$ E1 Z0 G
* @( N, e' ^- L# t
9 G' k# h6 I) r: Q/ M
; S7 a. W5 n( E& nC.温度# ^7 I% k, G  b5 [

5 P- p9 b5 J( o2 }0 r; |  N2 W( d* ?5 X. H5 N% n
; F4 S1 s) M+ N$ g8 n- E: V" b* Z  F
D.厚度- A  ?, m- a/ J' |3 d

4 F' p* m* r+ x$ P7 s4 p+ D
! x0 g4 B6 n7 E. C0 p- }6 U, e& y# I* c3 `) V
________________________________________
0 k" I9 Y1 T: |5 q6 u9.
9 v. {! j; M7 D利用相邻双臂桥检测的应变式传感器,为使其灵敏度高、非线性误差小则(         )。& d2 s% z( S( _  j) _9 b$ R" k; M1 P

0 P( D  C8 w9 Y  n3 A  h9 O' I6 wA.两个桥臂都应当用大电阻值工作应变片0 H8 [. [! z$ ^9 o: v' }+ O2 @
: J( ~6 T/ t) f$ @
$ M$ n" O) n/ a4 o& x% E) ]
% f8 D: q3 E1 ~5 v2 D% M3 s
B.两个桥臂都应当用两个工作应变片串联0 D3 S) _/ r8 q" v6 W- D2 P
  U1 P: b2 I- g/ e- r( a
: d" B  h8 y: Y
* l8 d5 u- x) c" C- J! H$ F
C.两个桥臂应当分别用特性相同,应变量变化相反的工作应变片4 s8 J" d, ?1 l7 D

; z' f& A/ y6 s/ D" U. P3 I) a1 z$ w1 Q

6 o/ s, ~( u$ t% ^4 U- d+ h* HD.两个桥臂应当分别用特性相同,应变量变化相同的工作应变片
1 i% |, B3 ?, ~
" u8 P3 V* M% D
. K: y+ ~( }2 a7 k7 I0 g0 z& z1 t: k) H3 [( f* A& r
________________________________________' X. O8 S* q' [
10.4 [* {5 y+ ~- n1 b. s% w
压电式加速度传感器是(         )信号的传感器。6 l/ v' {3 _' ]* l4 Z. ]
2 ], ~6 x% K# P. y
A.适于测量任意
  X& e$ @8 N3 d6 F2 j& Y2 f' ?$ \8 T( Y1 Q' [4 _7 n6 R

' V3 ?& s5 M/ ^# Z  W % L: P6 X# J3 g8 m
B.适于测量直流* B8 e$ s1 `  Y: w9 j4 N

- k& n9 d, ]" ~" N# z) M2 k: Z# c# ~: k8 _

- A3 A( g5 Z. s9 D" ^C.适于测量缓变6 y4 z  w, ^& ?# J. u
- L. Q, f" Q; p2 _- m+ `+ J
3 i) v) @  S8 Z* ~1 m

* s/ |9 p/ }& r$ X+ rD.适于测量动态
. n& R8 N9 K% T; u0 t6 O3 {+ g$ o! |$ m' m' l4 M/ G
% r7 E$ M; h* Q$ K6 Y
& C$ t+ ^: G/ \
________________________________________
& H1 D& g! d. Y' k% Z# X11.
7 O6 I) F3 T3 I6 F: Y+ ?当声波传播至两介质的分界面时,一部分能量返回原介质,称为反射波;另一部分能量透过介质面,到另一介质内继续传播,称为(         )。/ ~1 C$ V* s' _3 [2 c4 T

/ p: h+ d+ g4 E6 A8 u9 D' `9 sA.驻波
5 n$ e* t1 @, S/ G1 F( w5 l8 c6 |& P: ?+ S! K+ B* `+ _! E
! Z  x  g. f) U( a; }! {4 X

5 w$ z" h/ \9 h0 f% I' r2 x5 cB.兰姆波
$ q% ~7 b+ z3 D& o
3 V, G4 b6 C! H+ m% @+ ], N" K
. D3 p3 f" ]' H% O2 T8 n+ T / m6 M- \3 h$ I! h  ~) Q
C.折射波- K* L0 N5 b7 K5 [4 d
. V6 B0 t* |5 Z
" ^1 b! {' ^; X

& M. h, a1 _; A+ p1 sD.波型转换
  E) `0 Z  b, i& _. f; n) V1 J* H0 R5 m

3 {" ~/ Q1 L' ^- T$ g
" W4 U/ o8 m0 ^1 m$ f________________________________________
. ?8 B' S7 m  m, H4 \# Y2 `12.
, I% M, W: Q) b. W6 c9 f* G测量不能直接接触的高温物体温度,可采用(         )温度传感器。
9 @  s( ~9 a7 j; m- k/ R - g: ]6 ^+ E" R3 R9 p( e$ R
A.热电偶: ^( h1 h+ t6 r# O& c9 g

  K5 {+ ?3 h2 f% d$ h
' r' k& I3 Z+ Y
+ v" B5 }6 f" j2 L; }B.亮度式) |! V$ a) x& w- n) i. R( M
+ w! a. L' a3 Q# Q

& w) u7 L# e6 D$ g. L
+ |5 N$ w# U8 B% l- }4 {/ JC.半导体三极管
/ R# _! h  h5 [0 v7 \6 F' T5 l5 K6 m8 ]  R, W
5 ~- t  v3 ^7 E$ R
! x- {: q/ M/ X/ W+ G; u
D.半导体二极管
+ X$ Z# O3 t( \! ^
, g- ^! C/ P) q. b* K
5 E$ [' O  P2 i, a) L# L/ s9 E" i) ?" w) D5 ^' m
________________________________________
- M6 g) O2 m/ [( r; W  f% v9 P# T13.
# r; S5 u; W8 V$ [涡流传感器的工作原理是:当被测对象变化时,可引起传感器线圈的(         )发生变化。. \; O, R, q2 B; W0 `

4 F7 f* D% \5 t5 gA.温度: Z$ G1 P2 k8 [* N: B& P+ e0 S' a1 A1 M
3 u, x' \1 g6 c/ u0 U' T, M. H
# j$ n- }( E0 }, v+ a( D

0 E$ U7 _* a+ h/ _! _B.距离, `8 q' i0 Q  g; Q
5 V8 Y0 ?, L2 N. ]0 f) q

! o1 k1 N* r$ |' }- J- ^# _ 9 j4 }/ w$ n' A( R( }
C.阻抗
( a: K8 n4 t) o5 G$ y& N
2 n" H$ m7 a' L1 y0 ]- F  X3 x  S9 j1 {- u& b+ ^2 R5 ~

9 S- A2 K, J/ E+ `/ E) ~________________________________________- z3 n" D( m5 J
14.. k* @+ V/ l: q3 K. q
差动变压器属于(         )。7 O  `0 l/ r& \+ w" M* V; v
: V5 D9 q: d# Y- Z
A.电容式传感器
  v9 l9 _) s- t5 w6 l9 l/ f  K& u' `2 k1 Y+ W5 S" B+ X

8 \4 N4 }. [; G8 j
- W$ G4 p/ G# b8 G+ O/ S8 UB.压电式传感器
8 }: P2 {, J( O5 |& s' j
3 S" I. j) P7 s' G+ Q( `( I! G
+ G# ~6 H0 u( E! I) R
9 V0 T: D  ?2 I; V* CC.电感式传感器
$ y$ @! L9 h5 Z: Y, H/ R+ O
) Y1 _- X0 Z2 O# ~" k: p8 u, X* h
9 S' P8 N0 ^+ F$ q  ^# {
& r( }+ T% r/ f. T0 _) h4 b________________________________________7 e% ]& t/ m3 S+ m4 @2 ~( |) b
15.  D/ r& B3 d, e+ a6 n; U! W
变气隙式自感传感感器,当街铁移动靠近铁心时,铁心上的线圈电感量(         )。6 e3 J9 x2 ~1 ^) b! S

0 f- a2 E) S; L5 M5 T5 ~" S( tA.增加" C% u2 U8 y/ D
  }* z, d& J+ a1 v
  i+ \2 f3 }  p7 N" H5 w3 T

# K" |7 f2 _- h5 H$ z) K. x3 aB.减少9 I' @' Z7 B( ~0 m/ F  y
) D! [( {. M7 l& M/ H
* ~6 l- P( d2 f/ U4 a
$ g$ H# }/ r2 H! |4 F
C.不变% \% t2 d0 {4 u" s, s

" B/ F, x9 ~2 a# N; Y9 h. r
  s% c% ^4 O  L. r9 u, b
6 ]4 I3 Q9 g5 {9 B0 E( P________________________________________
; ^; D, X  w' J7 M% R二、) M) v4 C9 L) S6 [" b
资料来源:谋学网(www.mouxue.com)(本大题共10小题,每道题3.0分,共30.0分)
2 ^5 D: N  ?; w, [' \+ r  K5 r( H$ T" [7 U, X
1.
' O7 J" F7 k. j% X传感器弹性敏感元件的固有频率越高,则传感器的灵敏度越低,线性度越差。% p' }7 M& h9 V. h% I8 N
% C: t$ N) _; v6 P; j' o
对   ! j) v, ~; B$ i4 v$ q$ ?
0 }, m0 F+ U1 G* @3 [0 Y
* L* e. _  S4 Q# n, s0 i
9 ~: p7 J/ Q( o% ~
错 
5 F7 x+ M( i3 }* x5 X; e/ |3 D* d% U: w7 y+ |/ [

, i9 y( o* ~( u
0 N. }5 f3 {. {5 h) g' S6 J________________________________________! `, \0 q5 G/ T8 F4 ?
2.1 R. j$ g( D, ?) e2 l7 J
感应同步器传感器是利用两个平面互感系数随着两者的相对位置的变化而变化,来测量线位移和角位移的传感器,可以分为直线感应同步器和圆感应同步器。
$ M9 p$ `% z) c; y1 a4 T % h; t1 p1 S( v  z  X
对   / }, p0 k, O. w

3 J; D* i; H) A7 T9 e" {  G# E" ^" N+ u1 I; O

0 ^7 W$ Z/ ]) K. F错 
* Y: J6 e% W. o2 Y" j1 D; R/ Y  N9 a" u7 R
8 C% d3 v# ^9 y0 W
' `6 g* U7 A2 `5 u- {
________________________________________
& s2 B1 C7 N6 `4 Z$ b3.; R' S: E8 P- L& ^
传感器的过载能力是指传感器在不致引起规定性能指标永久改变的条件下,允许超过测量范围的能力。
" {0 c) e! S, r* p  o/ \5 n
8 Z- g) B% }) r4 s. O/ G; G) s. R对   
2 \6 {! a! T* s7 M6 B  ^: q) c1 ~) U: X5 X4 j# T

5 s+ b; P5 `$ C! {0 v * h0 o8 ~$ L, o4 h
错 
% D' r7 A0 j# m' L! t0 s. v" j# z, x. {; s0 o
! @- f" r! R" j. D* y/ L

- E5 U9 Q* ^1 \: C& A________________________________________
, H9 w4 a* q# m2 p% i* C4 X6 H4.7 ^% Q8 B2 L3 i4 N4 Q0 C
传感器的频率响应特性,必须在所测信号频率范围内,可以不保持不失真测量条件。  t' f4 h# |& i& H0 _8 x
& C* V, N) f" |4 }4 n& d5 c
对   
8 o6 c- n: L) R! `) `% ?: s  K! E, ~( t1 S; N2 H# z" n
% B" k# _  o2 g, I( H
( D  I3 A6 K% v$ C- t8 h% D8 ]; E
错 ! D6 v" _; s) X9 l
4 n6 W- A  f5 t7 u! h" v& z
0 ]3 _2 u2 \0 O: j5 ~" w1 N7 m# p

' `! W9 J. M# E9 k0 e! R  X3 J0 Z________________________________________
. Y" D3 w0 v) b+ N9 k0 Z4 z, R5.1 i, P0 E  x" F" V' p
传感器常用的非线性校正方法有开环式非线性补偿法和非线性反馈补偿法两种。
+ u* J3 |/ k4 x$ } ( N$ T$ x: J0 g5 V7 P
对   % C6 E, C5 W" i; K6 V3 {, g. p
2 k0 |  `- a/ \2 `: G' p( c

" ?' l2 G0 \+ w% W+ n) L 6 [  y$ }3 R5 W3 L+ M1 J! O
错 
1 ^: c6 ]* D8 V  w; U/ s* {* \+ a6 s8 ]

* p- ?4 ^' |6 o# ^/ G& E
- i: \8 \0 T; G  \' m________________________________________
& ]$ x: y  W) u- J- q- {8 h2 `6./ }) ]7 ^, n- R7 Z3 j
沿着一块半导体某一轴向上施加一定的应力时,除了产生一定应变外,材料的电阻率也要发生变化,这种现象即为半导体的压阻效应。- [/ r; ^7 o$ M- D4 Q
4 A. a$ Y$ W8 A. J7 W. L. z
对   
  p& x. p6 ]" I, n
2 B6 k; \% Z! I. I+ w  D
7 t& Q1 Y( [3 ~& F4 U# y: F; d * M, a7 X6 g) s
错 1 F1 f8 m& B9 h0 f4 Y1 b9 n

+ O1 c! d5 ~0 C7 F
: u5 M$ T" b3 X
' ^* I* W/ {6 r9 L* ]* p________________________________________
( M& j/ l* s  L" i0 I  c0 a$ x3 ]7.+ Q$ x9 A9 C: s, R2 T
在静态测量中,根据绘制的定度曲线,可以确定测量系统的三个静态特性:超调量、非线性度和回程误差。; f- R5 N- h1 A/ [

6 m! P/ _$ n) h; _/ ~对   
. ~* A: v% n9 b7 s; m: c
: l" x* W: z$ n0 b& Z5 J8 |+ J5 W) K) s$ E1 }
% O4 Q2 R% O3 I9 ^  v& m/ U' K+ p5 f' C
错 
4 J) p* m5 z, J5 Q; }4 Q; K+ f
# p- N, V4 j/ @9 b

: \5 q* C' ~0 S  M________________________________________
) {$ @$ Q0 V/ J% ?& n1 q8.; i7 X5 ?' C; X$ n7 Y& A, p" a
测量过程中存在着测量误差,按性质可被分为绝对误差、相对误差和引用误差三类,即使采用多次测量结果求平均的方法也不能减小绝对误差对测量结果的影响。6 v' n& N: f! D- c' K
% }9 z0 ?$ i1 s( F/ b9 {0 p
对   1 B6 G1 a! t8 b( N

7 J) Z$ e5 i# W; m, _# c  \7 z
1 Z- K8 L# F& T3 {7 B4 K1 A0 M% u; D
& V, O5 [; O" E# K8 `8 h* v, m5 ^错 0 o- s) w9 V& V* `; j

" d, g( V; m* ?4 r! ?; ~+ X/ E' X5 ]9 J9 F7 z
9 D5 Z$ T8 U+ @5 f
________________________________________. e  y7 m& R5 J$ L
9.
3 r! ?) w8 [* p# Z1 u$ M1 r  b# k. n迟滞性指在相同测量条件下,对应于同一大小的输入信号,传感器正、反行程的输出信号大小不相等的现象。7 G1 }" |, d* P* b4 k: {' s

2 V  v: Q% j$ u4 }" e对   
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________________________________________6 k2 j# i, e) S) Y
10.4 D1 I' A" V  r& i3 N: J/ f/ g. T
非接触式测量方式有:热电式传感器、光纤传感器、超声波传感器;接触式测量方式有:电位器式压力传感器、应变片式电阻传感器、应变式扭矩传感器。  T/ }' y* B1 E. {( N  D
9 G2 e1 @3 o; q* s' S' z
对   ! m) p' i" `- R5 P
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, R5 [" k( L: j: u" J& S* l# g________________________________________
; L* h% N! {0 k# l三、
* r3 F. n: P% N综合分析题(本大题共1小题,每道题10.0分,共10.0分)
3 J5 w% Q" n2 D# A* i" y! z2 m' P! P2 B+ D+ U) W  @/ L7 t
1.
! m" |& A( x$ `' L激光干涉传感器的作用是测量长度,其基本原理就是光的干涉原理,测量精度高、分辨力高。如图所示是迈克尔逊双光束干涉系统,图中S是光源,B是分光镜,M1是固定反射镜,M2是可动反射镜,P是观察屏处,试分析其工作原理。
* [( L9 V/ H- v- o& a 0 y( G) p8 q; j6 [; K. j- r

$ `& c0 C) M' i+ f( f1 y. m7 E1 R* t
1 S2 Q5 B& K/ J9 K2 e% J  j2 ?

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